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                        EN
                        產品名稱:XYZ直線電機滑臺
                        產品概要:
                        -- 直線軸XYZ納米級定位精度;
                        -- 精密交叉滾柱導軌。
                        -- 主體鋁合金材質
                        產品精度:
                        -- XY軸重復精度±100nm
                        -- Z軸重復精度±200nm
                        產品名稱:XYθ平臺
                        產品概要:
                        -- 直線軸XY+旋轉軸θ電機平臺;
                        -- 小行程精密運動場合;
                        產品精度:
                        -- XY軸重復精度±0.5μm
                        -- θ旋轉軸精度±2.5arcsec
                        產品名稱:耦合平臺
                        產品概要:
                        -- 直線軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電機平臺;
                        -- 適用光纖耦合;
                        產品精度:
                        -- XYZ軸重復精度0.3μm
                        -- ABC旋轉軸重復精度±1.5arc sec
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